一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备
摘要:
一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备,包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统,所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪,待加工石英片固定在成型模具上,成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转,XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准。本发明的熔融石英微壳体谐振结构加工设备能显著提升熔融石英微壳体谐振结构的加工精度,加工效率得到明显提升,同时该加工设备适用于多种尺寸范围和材料的谐振结构。
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