- 专利标题: 一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备
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申请号: CN201610389435.9申请日: 2016-06-02
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公开(公告)号: CN106082602B公开(公告)日: 2018-12-28
- 发明人: 肖定邦 , 吴学忠 , 侯占强 , 陈志华 , 吴宇列 , 李微 , 石岩 , 卢坤
- 申请人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 申请人地址: 湖南省长沙市开福区德雅路109号
- 专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市开福区德雅路109号
- 代理机构: 北京中济纬天专利代理有限公司
- 代理商 陈立新
- 主分类号: C03B20/00
- IPC分类号: C03B20/00
摘要:
一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备,包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统,所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪,待加工石英片固定在成型模具上,成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转,XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准。本发明的熔融石英微壳体谐振结构加工设备能显著提升熔融石英微壳体谐振结构的加工精度,加工效率得到明显提升,同时该加工设备适用于多种尺寸范围和材料的谐振结构。
公开/授权文献
- CN106082602A 一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备 公开/授权日:2016-11-09