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三氯氢硅合成炉
Abstract:
本发明属于硅化工领域,涉及一种三氯氢硅合成炉,包括下壳体和梯形壳体,在下壳体与梯形壳体的连接处设置了气体分布板,其气体分布板上均匀设置了旋转喷管和圆柱喷管,旋转喷管与圆柱喷管交叉设置,本发明在气体气体分布板上设置有了两种不同的喷管,该两种喷管为旋转喷管和圆柱喷管,其旋转喷管和圆柱喷管在气体分布板上交叉设置,当氯化氢气体通过旋转喷管和圆柱喷管进入到中间壳体内与硅粉反应时,其旋转喷管和圆柱喷管喷出的氯化氢气体相互作用,使硅粉和氯化氢气体充分反应,又由于旋转喷管上喷孔以及圆柱喷管上斜喷孔的设置,可以有效的避免硅粉落在气体分布板上。
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