Invention Publication
CN106006647A 三氯氢硅合成炉
失效 - 权利终止
- Patent Title: 三氯氢硅合成炉
- Patent Title (English): Trichlorosilane synthesis furnace
-
Application No.: CN201610326284.2Application Date: 2016-05-17
-
Publication No.: CN106006647APublication Date: 2016-10-12
- Inventor: 鲍明锐 , 蔡俊雄 , 郭庆元 , 刘毅 , 王兰华
- Applicant: 山东瑞川硅业有限公司
- Applicant Address: 山东省滨州市沾化县经济开发区恒业五路166号
- Assignee: 山东瑞川硅业有限公司
- Current Assignee: 山东瑞川硅业有限公司
- Current Assignee Address: 山东省滨州市沾化县经济开发区恒业五路166号
- Agency: 常州佰业腾飞专利代理事务所
- Agent 陈书华
- Main IPC: C01B33/107
- IPC: C01B33/107

Abstract:
本发明属于硅化工领域,涉及一种三氯氢硅合成炉,包括下壳体和梯形壳体,在下壳体与梯形壳体的连接处设置了气体分布板,其气体分布板上均匀设置了旋转喷管和圆柱喷管,旋转喷管与圆柱喷管交叉设置,本发明在气体气体分布板上设置有了两种不同的喷管,该两种喷管为旋转喷管和圆柱喷管,其旋转喷管和圆柱喷管在气体分布板上交叉设置,当氯化氢气体通过旋转喷管和圆柱喷管进入到中间壳体内与硅粉反应时,其旋转喷管和圆柱喷管喷出的氯化氢气体相互作用,使硅粉和氯化氢气体充分反应,又由于旋转喷管上喷孔以及圆柱喷管上斜喷孔的设置,可以有效的避免硅粉落在气体分布板上。
Public/Granted literature
- CN106006647B 三氯氢硅合成炉 Public/Granted day:2018-03-13
Information query