- 专利标题: 一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器
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申请号: CN201610446759.1申请日: 2016-06-20
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公开(公告)号: CN106006539B公开(公告)日: 2017-06-20
- 发明人: 高凤梅 , 李笑笑 , 陈善亮 , 王霖 , 尚明辉 , 杨为佑
- 申请人: 宁波工程学院
- 申请人地址: 浙江省宁波市海曙区翠柏路89号
- 专利权人: 宁波工程学院
- 当前专利权人: 宁波工程学院
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市海曙区翠柏路89号
- 代理机构: 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所
- 代理商 张向飞
- 主分类号: B81B7/00
- IPC分类号: B81B7/00 ; G01L1/18 ; G01L9/06 ; B81C3/00 ; B82Y15/00
摘要:
本发明涉及一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器,包括原子力显微镜探针(含Pt/It镀层)、Si片和负载于Si片上的B掺杂SiC纳米线。其制备方法为:将有机前驱体进行预处理得到有机前躯体粉末,取有机前躯体粉末和氧化硼粉末为原料;将催化剂形成于柔性衬底上;然后将原料及柔性衬底一起置于气氛烧结炉中,经程序升温进行热解后再经程序降温生长,制备得到B掺杂SiC纳米线。然后将B掺杂SiC纳米线分散于溶剂中形成混合溶液,然后通过该混合溶液将B掺杂SiC纳米线负载于Si片上,制备成一种应变系数高、灵敏度高的B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器。
公开/授权文献
- CN106006539A 一种B掺杂SiC纳米线大应变系数高灵敏压力传感器 公开/授权日:2016-10-12