发明公开
- 专利标题: 集成的引线接合器和具有缺陷剔除的三维测量系统
- 专利标题(英): Integrated wire bonder and 3d measurement system with defect rejection
-
申请号: CN201480070290.5申请日: 2014-10-24
-
公开(公告)号: CN105849881A公开(公告)日: 2016-08-10
- 发明人: 达伦·W·凯勒
- 申请人: 飞兆半导体公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 飞兆半导体公司
- 当前专利权人: 飞兆半导体公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 林彦
- 优先权: 61/914,573 2013.12.11 US
- 国际申请: PCT/US2014/062172 2014.10.24
- 国际公布: WO2015/088658 EN 2015.06.18
- 进入国家日期: 2016-06-22
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H01L23/544
摘要:
本发明公开了一种装置,所述装置包括具有引线接合装置(210)、测量装置(215)和剔除装置(220)的引线接合器系统。所述引线接合装置(210)被构造为将引线接合型电互连件附接到电子组件。引线接合在第一半导体装置和第二电子装置之间形成,以形成电子组件的至少一部分。所述测量装置(215)被构造为进行与引线接合相关联的三维测量,并且所述剔除装置(220)被构造为根据所述三维引线接合测量识别应予剔除的电子组件。
IPC分类: