发明授权
- 专利标题： 层叠膜和柔性电子器件
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申请号： CN201480070996.1申请日： 2014-12-11
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公开(公告)号： CN105848880B公开(公告)日： 2017-09-08
- 发明人: 山下恭弘 , 伊藤丰 , 中岛秀明
- 申请人： 住友化学株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王海川; 穆德骏
- 优先权： 2013-268641 20131226 JP
- 国际申请： PCT/JP2014/083497 2014.12.11
- 国际公布： WO2015/098672 JA 2015.07.02
- 进入国家日期： 2016-06-24
- 主分类号： B32B9/00
- IPC分类号： B32B9/00 ; C23C16/42
摘要：
一种层叠膜，其具有挠性基材、形成在上述基材的至少单侧的表面上的第1薄膜层和形成在第1薄膜层上的第2薄膜层，其中，上述第1薄膜层含有硅原子(Si)、氧原子(O)和碳原子(C)，上述第2薄膜层含有硅原子、氧原子和氮原子(N)，上述第1薄膜层和第2薄膜层使用辉光放电等离子体形成。
公开/授权文献
- CN105848880A 层叠膜和柔性电子器件 公开/授权日：2016-08-10
