功率半导体模块
摘要:
本发明缓和功率半导体芯片表面的电场强度,实现制造工序内缺陷的减少、以及可靠性的提高。本发明具有配置在绝缘基板(2)之上的功率半导体芯片(4),本发明还具有:配线(5),其与功率半导体芯片的元件区域(4A)处的表面导体图案连接;低介电常数膜(8),其配置在配线与周边区域(4B)之间;以及封装材料(6),其是覆盖绝缘基板、功率半导体芯片、配线以及低介电常数膜而形成的,低介电常数膜具有比封装材料低的介电常数。
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