机械地流体化的硅沉积系统和方法
摘要:
机械地流体化的系统和工艺允许高效、成本有效的硅生产。可以向受热盘或者锅提供粒子,该受热盘或者锅被振荡或者振动以提供反应表面。粒子在盘或者锅中向下迁移,并且在反应物产品达到希望的状态时,反应物产品在盘或者锅中向上迁移。可以回收废气。
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