用于高洁净度作业空间的防护型输送机构
摘要:
一种用于高洁净度作业空间的防护型输送机构,克服了现有直角坐标机器人无法满足用于高洁净度作业空间要求的缺陷,其技术要点是:采用了密封和负压吸附相结合的独特结构,即以防尘带封闭直线电机的动子及与定位支承连接板组装在一起的外接备用固定板运动需要的通道开口,把基体内腔形成封闭腔体,将驱动主体全部封装在基体腔体内,通过与外部负压源连通的封闭腔体内的负压吸附作用,使产生的气流有序地流动,通过封闭腔体内相对应的排气口排出,确保各运动单元所产生的微尘不泄露出基体的封闭腔体。其结构设计合理,运动单元产生的微尘不外溢,避免了污染周围环境和物料,作业范围广,运行速度快、定位精度高,能满足各种高洁净度作业空间的要求。
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