发明授权
- 专利标题: 一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法
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申请号: CN201511003026.2申请日: 2015-12-28
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公开(公告)号: CN105600774B公开(公告)日: 2017-11-07
- 发明人: 姜浩 , 马金鑫 , 高翾 , 徐鑫 , 李朝龙 , 李占成 , 史浩飞
- 申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 申请人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 当前专利权人地址: 重庆市北碚区方正大道266号
- 主分类号: C01B32/194
- IPC分类号: C01B32/194
摘要:
本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法,该装备由上料装置、压合装置、加电鼓泡预剥离装置、加电剥离装置、水冲洗装置、吹干装置和收卷装置组成;上述装置依次顺序排布,并通过导向辊调整方向连接。所涉及的转移方法为:在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层,烘干收卷后安放到转移装备上,通过压合装置加压加热方式与目标基底压合,继而通过加电鼓泡预剥离装置使石墨烯与生长基底铜箔预分离,再经过加电剥离装置使生长基底铜箔与石墨烯彻底分离,最后用去离子水冲洗、吹干并收卷完成转移。本发明中的转移装备结构紧凑,与转移方法配合使用可实现石墨烯薄膜的“卷对卷”式快速、高效及高质量转移。
公开/授权文献
- CN105600774A 一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法 公开/授权日:2016-05-25