本发明提供等离子体处理装置、基片卸载装置及方法，用于降低基片卸载过程中的基片破裂风险。其中的一种实施例的基片卸载装置包括用于承载基片的静电夹盘、设置在基片周边的聚焦环、升举顶针及控制器。基片的边缘部分延伸至聚焦环的上方。聚焦环内设置有通道。升举顶针包括可升降的第一级顶杆，第一级顶杆内设置有可相对于第一级顶杆作升降运动的第二级顶杆。聚焦环内的通道容许第二级顶杆通过，但不容许第一级顶杆通过。控制器用于控制第一级顶杆接触并抬升聚焦环，进而抬升所述基片，实现基片与静电夹盘的脱离；也用于控制第二级顶杆相对于第一级顶杆的上升运动，以使得第二级顶杆穿过通道而作用在基片上并抬升基片，实现聚焦环与基片的分离。