基于金属氧化物薄膜晶体管的非挥发性存储器的制备方法
摘要:
一种基于金属氧化物薄膜晶体管的非挥发性存储器的制备方法,通过如下步骤进行:a.在衬底上制备并图形化金属或半导体层作为浮栅电极;b.在浮栅电极上沉积第一绝缘层作为隧穿层;c.在第一绝缘层上沉积金属氧化物半导体薄膜并图形化形成第一有源层和第二有源层;d.在第二有源层上连续沉积第二绝缘层和第一金属层,图形化第一金属层作为栅极电极,再以栅极电极为掩膜板、采用自对准的方法,图形化第二绝缘层作为栅极绝缘层;e.沉积并图形化第三绝缘层作为钝化层;f.在第三绝缘层上沉积并图形化第二金属层作为源漏电极。本发明工艺简单。
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