- 专利标题: 基于金属氧化物薄膜晶体管的非挥发性存储器的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of non-volatile memory based on metallic oxide thin film transistor
-
申请号: CN201610017494.3申请日: 2016-01-13
-
公开(公告)号: CN105552080A公开(公告)日: 2016-05-04
- 发明人: 周雷 , 徐苗 , 李洪濛
- 申请人: 广州新视界光电科技有限公司
- 申请人地址: 广东省广州市萝岗区开源大道11号科技企业加速器A1栋
- 专利权人: 广州新视界光电科技有限公司
- 当前专利权人: 广州新视界光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市萝岗区开源大道11号科技企业加速器A1栋
- 代理机构: 北京科亿知识产权代理事务所
- 代理商 赵蕊红
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L21/8247
摘要:
一种基于金属氧化物薄膜晶体管的非挥发性存储器的制备方法,通过如下步骤进行:a.在衬底上制备并图形化金属或半导体层作为浮栅电极;b.在浮栅电极上沉积第一绝缘层作为隧穿层;c.在第一绝缘层上沉积金属氧化物半导体薄膜并图形化形成第一有源层和第二有源层;d.在第二有源层上连续沉积第二绝缘层和第一金属层,图形化第一金属层作为栅极电极,再以栅极电极为掩膜板、采用自对准的方法,图形化第二绝缘层作为栅极绝缘层;e.沉积并图形化第三绝缘层作为钝化层;f.在第三绝缘层上沉积并图形化第二金属层作为源漏电极。本发明工艺简单。
公开/授权文献
- CN105552080B 基于金属氧化物薄膜晶体管的非挥发性存储器的制备方法 公开/授权日:2018-09-28
IPC分类: