发明授权
CN105525256B 多掩模对准系统和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 多掩模对准系统和方法
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申请号: CN201510869520.0申请日: 2015-10-16
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公开(公告)号: CN105525256B公开(公告)日: 2019-09-10
- 发明人: 布赖恩·阿瑟·布奇
- 申请人: 阿德文泰克全球有限公司
- 申请人地址: 英属维尔京群岛托尔托拉
- 专利权人: 阿德文泰克全球有限公司
- 当前专利权人: 阿德文泰克全球有限公司
- 当前专利权人地址: 英属维尔京群岛托尔托拉
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 赵晓祎; 戚传江
- 优先权: 62/065,291 2014.10.17 US
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C16/04
摘要:
本发明涉及多掩模对准系统和方法。在一种多掩模对准系统和方法中,提供了具有贯穿其的若干孔径的载体框。也提供了若干阴影掩模‑框组合。每个阴影掩模‑框组合包括第一组对准特征,并且每个阴影掩模‑框组合被定位在载体的第一侧,框支撑阴影掩模与孔径中的一个对准。提供了对准系统,并且也提供了包括可编程的控制器的控制系统。在控制器的控制下,对准系统基于通过控制器确定的第一组对准特征的位置相对于载体来调整每个阴影掩模‑框组合的位置。
公开/授权文献
- CN105525256A 多掩模对准系统和方法 公开/授权日:2016-04-27
IPC分类: