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压电泵
摘要:
本发明公开了一种压电泵,泵体上表面设有中心沉腔,下表面设有入流沉腔和出流沉腔,中心沉腔底部与入流沉腔相对的位置设有进液阀片安装沉槽,入流沉腔和进液阀片安装沉槽通过进液孔连通,中心沉腔和出流沉腔之间通过排液孔连通。进液阀片安装在进液阀片安装沉槽内并将进液孔封盖,排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖。压电振子安装在泵体上表面并将中心沉腔封盖;所述进液阀片和排液阀片均为由金属薄层和聚合物薄膜层构成的双层结构,其中聚合物薄膜层朝向进液孔/排液孔。本发明压电泵结构简单、响应速度快、阀片关闭性能好,工作效率高。
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