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发明授权
CN105392922B 金属氧化物膜结构物 有权

金属氧化物膜结构物
摘要：
本发明涉及形成于基材表面的金属氧化物膜结构物，涉及由于组成金属氧化物膜的金属元素的原子个数和氧元素的原子个数呈现出非化学计量的特性，从而使金属氧化物膜的密度致密地形成为涂敷前的金属氧化物密度的90％～100％，且无裂痕及气孔的金属氧化物膜结构物，本发明提供金属氧化物膜结构物，形成于基材的表面，上述金属氧化物膜结构物的特征在于，当由XaYb标记的金属氧化物形成为金属氧化物膜结构物时，上述金属氧化物膜结构物的金属元素原子百分比大于{a/(a+b)}×100(％)，其中，X为金属元素，Y为氧元素，a为金属元素原子个数，b为氧元素原子个数，上述金属氧化物膜结构物包含纳米结晶质粒子和纳米非结晶质粒子，用于构成上述金属氧化物膜结构物的粒子不伴随基于热的生长及基于热而变为结晶质，上述金属氧化物膜结构物无裂痕及气孔。
摘要（英）：

The present invention relates to a metal oxide layer structure formed on the surface of a substrate, in which the atomic numbers of the element metal and the element oxygen in the metal oxide layer are in a non-stoichiometric ratio, so that the metal oxide layer has a high density corresponding to 90-100% of the metal oxide before coating and is free of cracks and pores. The metal oxide layer structure is formed of a metal oxide represented by XaYb (X: a metal element, Y: the element oxygen, a: the atomic number of the metal element, and b: the atomic number of the element oxygen), and the atomic percent of the metal element is greater than {a/(a+b)}×100(%). The layer structure is formed of nano-crystalline particles and nano-amorphous particles, and the particles forming the layer structure do not undergo heat-induced growth and heat-induced conversion to crystalline particles.

公开/授权文献
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