一种基于介质沉积型表面等离子波导的SOI基MZI型1×2热光开关
Abstract:
本发明公开了一种基于介质沉积型表面等离子波导的SOI基MZI型1×2热光开关,包括一个硅脊型直波导,作为SOI基1×2热光开关与外接单模光纤的接口;一个拉锥型的硅脊型波导Y分支,作为1×2热光开关的3-dB光学分束器,用于将输入光波等量的分成两束;六个S形硅脊型弯曲波导,分别用于Y分支与两侧调制臂以及调制臂与定向耦合器的连接,并且将经过定向耦合器调制后的光输出;两个介质沉积型表面等离子波导,位于1×2热光开关的两侧调制臂上,用于MZI结构的相位调制;一个硅脊型波导的定向耦合器,用于对相位调制后的两束光进行多模干涉,将相位调制转化为强度调制。本发明具有响应快、集成化程度高、开关功耗低等特性。
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