发明授权
摘要:
本发明公开了一种环境传感器及其制造方法,包括基材,在所述基材的上端设有至少一个凹槽,还包括位于基材上方的敏感膜层,所述敏感膜层包括固定在基材端面上的固定部,以及伸入至凹槽内的弯曲部,所述弯曲部与凹槽的侧壁构成了用于检测信号的电容器;其中,所述弯曲部、固定部与凹槽形成了密闭的容腔。本发明的环境传感器,将传统设置在基材表面的电容器结构,改为垂直伸入基材内部的电容器结构,加大凹槽的深度即可增大电容器两个极板之间的感测面积,由此可大大缩小电容器在基材上的覆盖面积,满足了现代电子器件的轻薄化发展。
公开/授权文献
- CN105371878A 一种环境传感器及其制造方法 公开/授权日:2016-03-02
IPC分类: