本发明提供一种薄膜晶体管、阵列基板及相关制作方法。薄膜晶体管的制作方法包括：形成绝缘层的步骤。其中，所述形成绝缘层的步骤进一步包括：形成硅氧烷材料层；对所述硅氧烷材料层进行氧化处理，使所述硅氧烷材料层的表面形成无机硅薄膜；在本发明的方案中，绝缘层的外层为无机硅薄膜，即现有技术中常用的绝缘层材料。内层为硅氧烷材料，具有低介电常数和高化学稳定的特点，可稳定地抑制薄膜晶体管电极所产生的电容效应，从而能够以较低的电压进行驱动，有效降低能耗。