本发明公开了一种适用于氟化钙凸锥镜高效加工的联合工艺方法，充分考虑了氟化钙晶体的材料特性及凸锥面异形结构特性，将加工流程分为成型、面形精度提升、粗糙度提升三个环节并分别采用铣磨成型技术、金刚石车削技术及磁流变抛光技术三种联合工艺进行加工，对氟化钙凸锥的锥角度、面形精度、粗糙度等技术瓶颈进行各个击破。本发明加工效率高，锥角精度准确，面形精度及粗糙度可控、稳定，突破了国内现有工艺无法加工氟化钙凸锥异形曲面的技术瓶颈，为我国开展光刻机投影曝光光学系统的研制提供技术保障。