• Patent Title: 一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法
  • Patent Title (English): Structure and manufacturing method of novel resonant thin-film thermoelectric converter
  • Application No.: CN201510538523.6
    Application Date: 2015-08-28
  • Publication No.: CN105174200A
    Publication Date: 2015-12-23
  • Inventor: 刘丽霞
  • Applicant: 刘丽霞
  • Applicant Address: 山东省枣庄市山亭区凫城乡官庄村68号
  • Assignee: 刘丽霞
  • Current Assignee: 国网山东新泰市供电公司
  • Current Assignee Address: 山东省枣庄市山亭区凫城乡官庄村68号
  • Main IPC: B81B7/00
  • IPC: B81B7/00 B81B7/02 G01R19/00
一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法
Abstract:
本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法,加热电阻、微桥谐振器I及微桥谐振器II在同一衬底上,在加热电阻通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器I温度升高,其轴向压应力增加或拉应力下降,使得微桥谐振器I的谐振频率下降,而微桥谐振器II不感受加热电阻辐射的热量,其谐振频率仅受衬底和环境温度的影响,通过测量微桥谐振器I、微桥谐振器II谐振频率的差值即可反映出加载在加热电阻上的输入电压或电流的大小。本发明加热电阻和微桥谐振器I、微桥谐振器II制作在同一衬底(1)上,简化了器件制作工艺和封装工艺,本发明的制作方法简单,易操作。
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