Invention Grant
- Patent Title: 等离子体桥式中和一体化的直流离子束光学抛光装置
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Application No.: CN201510344966.1Application Date: 2015-06-19
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Publication No.: CN105150048BPublication Date: 2017-10-13
- Inventor: 解旭辉 , 戴一帆 , 周林 , 鹿迎 , 李圣怡 , 徐明进
- Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
- Applicant Address: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
- Assignee: 中国人民解放军国防科学技术大学
- Current Assignee: 中国人民解放军国防科学技术大学
- Current Assignee Address: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
- Agency: 湖南兆弘专利事务所
- Agent 赵洪; 钟声
- Main IPC: B24B13/00
- IPC: B24B13/00
Abstract:
本发明公开了一种等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，包括离子源和等离子体中和器，所述抛光装置还包括固定安装于离子源上的盘状盖板，等离子体中和器安装在盘状盖板内端面上，等离子体中和器的喷口正对离子源的离子束的轴线。本发明具有耦合充分、可获得具有高度稳定性的小束径离子束的优点。
Public/Granted literature
- CN105150048A 等离子体桥式中和一体化的直流离子束光学抛光装置 Public/Granted day:2015-12-16
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