发明授权
- 专利标题： 自准直光栅干涉仪高光学细分结构
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申请号： CN201510580053.X申请日： 2015-09-14
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公开(公告)号： CN105136022B公开(公告)日： 2017-07-14
- 发明人: 卢炎聪 , 周常河 , 韦春龙 , 余俊杰 , 李树斌 , 王津 , 李燕阳 , 李民康
- 申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址： 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址： 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯; 张宁展
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02
摘要：
一种自准直光栅干涉仪高光学细分结构，包括光栅标尺，第一直角棱镜、第二直角棱镜、第三直角棱镜、第四直角棱镜、第五直角棱镜、第六直角棱镜、第一反射镜，第二反射镜。本发明使光栅干涉仪的测量光束在高衍射效率的光栅标尺和反射镜之间来回反射，同时充分利用光栅在布拉格角度下更容易获得高衍射效率的特点以增加被光栅标尺衍射的次数，从而达到光学高细分的效果。
公开/授权文献
- CN105136022A 自准直光栅干涉仪高光学细分结构 公开/授权日：2015-12-09
