Invention Grant
- Patent Title: 扫摆式干涉仪控制系统
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Application No.: CN201510555432.3Application Date: 2015-09-01
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Publication No.: CN105115601BPublication Date: 2017-06-20
- Inventor: 李胜 , 李相贤 , 高闽光 , 张玉钧 , 王亚萍 , 陈军 , 徐亮 , 金岭 , 童晶晶 , 石建国 , 李妍 , 刘文清
- Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Applicant Address: 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- Agency: 合肥诚兴知识产权代理有限公司
- Agent 汤茂盛
- Main IPC: G01J3/06
- IPC: G01J3/06 ; G01J3/45
Abstract:
本发明属于光电检测领域，具体涉及一种扫摆式干涉仪控制系统，包括方向检测单元、中点检测单元、速度检测单元、距离检测单元、驱动单元、单片机，单片机接收所述方向检测单元、扫描中点检测单元、运动速度检测单元、运动距离检测单元检测的动镜运动方向信号、过中点信号、光程差变化速度信号以及光程差变化量信号，并根据这些信号以及预设的扫描速度和扫描距离来控制驱动单元驱动所述动镜摆动。
Public/Granted literature
- CN105115601A 扫摆式干涉仪控制系统 Public/Granted day:2015-12-02
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