双臂扫摆式干涉仪系统
Abstract:
本发明属于光学检测设备的光学组件,具体涉及一种双臂扫摆式干涉仪系统,包括底座上设置的分束镜、由第一反射镜和第二反射镜构成的反射通道,反射通道一端设有与透射光束垂直的第一后向反射镜以及与反射光束垂直的第二后向反射镜,所述第一、第二反射镜相对于底座摆动设置,第一、第二反射镜在摆动过程中镜面始终保持平行,且转轴垂直于透射光束和反射光束所在的平面。本发明的特点在于,首先它利用平面镜实现了光束的原路返回,对倾斜不敏感,便于设备的校准;其次它将动镜的直线运动转变为平台的扫摆运动,相对于直线运动而言,扫摆运动可以降低动镜驱动的复杂性,易于实现。
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