发明授权
- 专利标题: CMOS工艺中多晶硅电阻的制造方法
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申请号: CN201510315138.5申请日: 2015-06-10
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公开(公告)号: CN105023831B公开(公告)日: 2018-08-21
- 发明人: 王乐平
- 申请人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 郭四华
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L21/8238
摘要:
本发明公开了一种CMOS工艺中多晶硅电阻的制造方法,包括如下步骤:依次形成栅介质层和多晶硅层;进行光刻刻蚀同时形成多晶硅栅和多晶硅电阻;定义出N型源漏注入的注入区域,该区域同时包括多晶硅电阻的形成区域;进行N型源漏注入,该N型源漏注入同时将N型杂质注入到多晶硅电阻中;定义出P型源漏注入的注入区域,该区域同时包括多晶硅电阻的形成区域;进行P型源漏注入,该P型源漏注入同时将P型杂质注入到多晶硅电阻中;进行快速热退火实现杂质激活。本发明能降低成本。
公开/授权文献
- CN105023831A CMOS工艺中多晶硅电阻的制造方法 公开/授权日:2015-11-04
IPC分类: