CMOS工艺中多晶硅电阻的制造方法
摘要:
本发明公开了一种CMOS工艺中多晶硅电阻的制造方法,包括如下步骤:依次形成栅介质层和多晶硅层;进行光刻刻蚀同时形成多晶硅栅和多晶硅电阻;定义出N型源漏注入的注入区域,该区域同时包括多晶硅电阻的形成区域;进行N型源漏注入,该N型源漏注入同时将N型杂质注入到多晶硅电阻中;定义出P型源漏注入的注入区域,该区域同时包括多晶硅电阻的形成区域;进行P型源漏注入,该P型源漏注入同时将P型杂质注入到多晶硅电阻中;进行快速热退火实现杂质激活。本发明能降低成本。
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