一种快速转镜动态面形的测试系统
摘要:
本发明为一种快速转镜动态面形的测试系统,包括系统控制器、闪烁光源、准直光管、分束镜、快速转镜、测试球面镜、参考球面镜、观察屏和CCD相机系统;闪烁光源经准直光管扩束后出射平行光,由分束镜分成两束光,透过的一路照射到快速转镜的镜面上,由快速转镜反射到测试球面镜;测试球面镜的反射光束按原光束的光轴原路返回一束准球面波;准球面波经快速转镜按准直光束的光轴反向传输,经分束镜投射到观察屏上;反射的一路直接照射到参考球面镜的镜面上;参考球面镜反射的准球面波通过分束镜也投射到观察屏上,两束准球面波相互重叠并产生干涉图案,观察屏后的CCD相机实时记录干涉图案,通过干涉图案得到快速转镜动态时的型面。
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