本发明提供了一种连续化水热法制备亚微米材料的装置系统及其制备工艺。该装置系统包括配料釜、预热器、第一结晶器和第二结晶器。其中，第一配料釜通过第一进料泵和预热器连通第一结晶器，第二配料釜通过第二进料泵连通第一结晶器。第一结晶器连通第二结晶器，第二结晶器的出料口连通换热器的入口，换热器的出口分为两个，一个连通外循环单元再连通第二结晶器的入口，而另一个则连通后处理单元与料浆收集器。其中，第一结晶器为管式反应结晶器，第二结晶器为连续型结晶器。该制备工艺采用该装置系统。本发明提供的装置系统及其制备工艺，不仅装置成本低，同时可连续制备粒度分布均匀且结晶度高的亚微米材料，适用于工业化生产。