一种以光子晶体作为入射窗的氮化镓基紫外探测器
Abstract:
一种以光子晶体作为入射窗的氮化镓基紫外探测器,其特征在于,包括由下而上依次设置的阴极电极101、n型Alx1Ga1‑x1N层102、Aly1Ga1‑y1N/Aly2Ga1‑y2N多量子阱雪崩增益区103、Aly3Ga1‑y3N/Aly4Ga1‑y4N超晶格吸收区104、p型Alx2Ga1‑x2N层105、环形阳极电极107和制作于p型Alx2Ga1‑x2N层105表面、但局限于阳极电极环107内的光子禁带隙宽度可调的光子晶体入射窗106。本发明的有益效果为:极大程度地降低背景噪声,有效提高信噪比,通过设置光子晶体入射窗结构,可提高带通区光线在吸收区的进光量50%以上,而对波长位于带通区外但又落在光子禁带内的光线,则可滤掉其进光量80%以上。既保证了探测器具有高灵敏度和高增益,又有效地降低了探测器的背景噪声与暗电流,有益于提高探测器的可靠性与稳定性。
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