- 专利标题: 一种利用离子溅射镀膜电路的漏液检测传感器及其制造工艺
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申请号: CN201510205400.0申请日: 2015-04-28
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公开(公告)号: CN104913881B公开(公告)日: 2018-04-10
- 发明人: 柳哲
- 申请人: 上海柳智科技股份有限公司
- 申请人地址: 上海市松江区新松江路909号6楼A座
- 专利权人: 上海柳智科技股份有限公司
- 当前专利权人: 上海柳智科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市松江区新松江路909号6楼A座
- 代理机构: 上海天翔知识产权代理有限公司
- 代理商 吕伴
- 主分类号: G01M3/04
- IPC分类号: G01M3/04 ; G01N27/00
摘要:
本发明涉及一种利用离子溅射镀膜电路的漏液检测传感器的制造工艺,采用耐热和耐腐蚀材料作为基底薄膜,在其上表面用离子溅射镀膜工艺形成绝缘物质涂层,在绝缘涂层上采用离子溅射镀膜方式制作两双传导线路;绝缘涂层上表面设置相互贴合的粘贴层与保护膜层;若在基底薄膜或绝缘涂层整体表面形成均匀的可导电薄膜,另外覆盖遮蔽胶带后进行镀膜,离子溅射镀膜过程后,去除遮蔽胶带即可形成传导线路;制成液体泄漏检测装置。本发明有益效果为:可防止因各种液体或湿气导致传导线路发生腐蚀,可准确检测可导电液体泄漏,最小化误报的发生;提高漏液检测装置的可靠性;有利于提高薄膜层间的贴合力,减少上层保护膜层剥离的可能性,降低产品不良率。
公开/授权文献
- CN104913881A 一种利用离子溅射镀膜电路的漏液检测传感器及其制造工艺 公开/授权日:2015-09-16