- 专利标题: 超重力辅助的可控制备一维硅纳米线阵列的方法
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申请号: CN201510202592.X申请日: 2015-04-24
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公开(公告)号: CN104810250B公开(公告)日: 2018-03-13
- 发明人: 王钰 , 段春阳 , 任贝 , 陈运法
- 申请人: 中国科学院过程工程研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北二条1号
- 专利权人: 中国科学院过程工程研究所
- 当前专利权人: 中国科学院过程工程研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北二条1号
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 巩克栋; 侯桂丽
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; B82Y40/00
摘要:
一种一维硅纳米线阵列的制备方法,采用“自上而下”金属辅助化学刻蚀法,直接将切洗后的硅片放入稳定的金属盐的氢氟酸水溶液刻蚀液中,在超重力体系中,通过调节离心机的转速、温度、时间一步法可控制备高质量的一维硅纳米线阵列。本发明的制备方法通过在反应过程中引入超重力场,可以一步法制备不同形状的高质量的硅纳米线阵列,缩短反应时间。
公开/授权文献
- CN104810250A 超重力辅助的可控制备一维硅纳米线阵列的方法 公开/授权日:2015-07-29
IPC分类: