发明公开
- 专利标题: 透明导电性薄膜的制造方法
- 专利标题(英): Method Of Manufacturing Transparent Conductive Film
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申请号: CN201510116669.1申请日: 2012-08-24
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公开(公告)号: CN104750312A公开(公告)日: 2015-07-01
- 发明人: 田部真理 , 安藤豪彦 , 菅原英男
- 申请人: 日东电工株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 日东电工株式会社
- 当前专利权人: 日东电工株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2011-182733 2011.08.24 JP
- 分案原申请号: 2012103065672 2012.08.24
- 主分类号: G06F3/041
- IPC分类号: G06F3/041
摘要:
本发明提供透明导电性薄膜的制造方法。课题在于在透明导体层被图案化了的透明导电性薄膜中,即使在将基材的厚度减小至80μm以下时,也可抑止由可看到透明导体层的图案边界导致的美观性降低。本发明的制造方法包括:层叠体准备工序,准备在挠性透明基材上形成有未图案化的透明导体层的层叠体;图案化工序,将一部分透明导体层去除,图案化为在挠性透明基材上具有透明导体层的图案形成部和在挠性透明基材上不具有透明导体层的图案开口部;以及热处理工序,对透明导体层图案化之后的前述层叠体进行加热。优选热处理工序中的、图案形成部的尺寸变化率H1与图案开口部的尺寸变化率H2之差H1-H2的绝对值小于0.03%。
公开/授权文献
- CN104750312B 透明导电性薄膜的制造方法 公开/授权日:2018-01-12