氧化物烧结体、氧化物溅射靶和高折射率的导电性氧化物薄膜、以及氧化物烧结体的制造方法
摘要:
一种烧结体,其特征在于,包含铟(In)、以及钛(Ti)或铬(Cr)、以及锌(Zn)或锡(Sn)、以及氧(O);以In2O3换算含有2~65摩尔%In,分别以TiO2换算或Cr2O3换算含有2~65摩尔%Ti或Cr;将In的原子比设为A(原子%)、将Ti或Cr的原子比设为B(原子%)、将Zn或Sn的原子比设为C(原子%)时,0.5≤A/B≤5,0<C/(A+B)<10。该烧结体的体电阻低,能够DC溅射,并且能够形成透明且高折射率的薄膜。
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