Invention Publication
- Patent Title: 纳米碳膜的制造方法及纳米碳膜
- Patent Title (English): Method for producing nanocarbon film and nanocarbon film
-
Application No.: CN201380053732.0Application Date: 2013-08-07
-
Publication No.: CN104736477APublication Date: 2015-06-24
- Inventor: 川合信 , 久保田芳宏
- Applicant: 信越化学工业株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 信越化学工业株式会社
- Current Assignee: 信越化学工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 李英
- Priority: 2012-227851 2012.10.15 JP
- International Application: PCT/JP2013/071333 2013.08.07
- International Announcement: WO2014/061337 JA 2014.04.24
- Date entered country: 2015-04-15
- Main IPC: C01B31/02
- IPC: C01B31/02

Abstract:
涉及可便宜地制造无缺陷的纳米碳膜的、使用混合基板的纳米碳膜的制造方法,其特征在于,自单晶的碳化硅基板的表面注入离子而形成离子注入区域,将上述碳化硅基板的经离子注入的表面与基底基板的表面贴合,随后在上述离子注入区域使碳化硅基板剥离而制造在基底基板上转印有包含单晶的碳化硅的薄膜的混合基板,接着加热该混合基板使硅原子从上述包含单晶的碳化硅的薄膜升华,得到纳米碳膜。
Public/Granted literature
- CN104736477B 纳米碳膜的制造方法及纳米碳膜 Public/Granted day:2016-11-02
Information query