纳米碳膜的制造方法及纳米碳膜
Abstract:
涉及可便宜地制造无缺陷的纳米碳膜的、使用混合基板的纳米碳膜的制造方法,其特征在于,自单晶的碳化硅基板的表面注入离子而形成离子注入区域,将上述碳化硅基板的经离子注入的表面与基底基板的表面贴合,随后在上述离子注入区域使碳化硅基板剥离而制造在基底基板上转印有包含单晶的碳化硅的薄膜的混合基板,接着加热该混合基板使硅原子从上述包含单晶的碳化硅的薄膜升华,得到纳米碳膜。
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