一种改善光学零件边缘面形的加工方法及复合磨粒抛光液
摘要:
本发明属于超精密加工技术,涉及一种改善光学零件边缘面形的加工方法及复合磨粒抛光液。所述复合磨粒抛光液由粒径范围为1μm~30μm,弹性模量在1~10GPa的有机聚合物微粒、粒径范围为0.3μm~3μm的抛光粉和水配制而成,其中,分散有机聚合物微粒的质量分数范围为0.1%~5%,抛光粉的质量分数范围为0.1%~5%。本发明采用由聚苯乙烯(PS)微球表面吸附CeO2磨粒形成的复合磨粒抛光液替代单一CeO2磨粒抛光液,在双面抛光机床上采用推荐的工艺参数对光学零件表面进行抛光,达到改善光学零件边缘面形的目的,同时不影响表面粗糙度。该方法简便、实用,直径为30mm、厚度为6mm。
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