表面处理设备和用于运行表面处理设备的方法
摘要:
为了提供一种能简单且可靠地运行的用于处理工件表面的表面处理设备而提出,该表面处理设备包括以下部分:工作区域,在该工作区域中可以对工件的表面进行处理;流动引导设备,借助该流动引导设备可以将气体流引导穿过工作区域;溶剂沉淀设备,其用于从被引导穿过工作区域的气体流中沉淀出溶剂,其中,溶剂沉淀设备可以有选择地转换到沉淀状态或不工作状态下,其中,溶剂沉淀设备在沉淀状态下从气体流中沉淀出溶剂。
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