发明授权
- 专利标题: 基板清洗装置及基板处理装置
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申请号: CN201380042968.4申请日: 2013-08-20
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公开(公告)号: CN104584197B公开(公告)日: 2017-11-24
- 发明人: 田中英明
- 申请人: 株式会社荏原制作所
- 申请人地址: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- 专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人地址: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- 代理机构: 上海市华诚律师事务所
- 代理商 梅高强; 刘煜
- 优先权: 2012-181670 2012.08.20 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/072177 2013.08.20
- 国际公布: WO2014/030640 JA 2014.02.27
- 进入国家日期: 2015-02-12
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304
摘要:
本发明是涉及一种基板清洗装置,一边使辊清洗构件接触基板表面,一边旋转基板及辊清洗构件并擦刷清洗基板表面。基板清洗装置具有:辊支架(42),对辊清洗构件(46)进行支撑并使该辊清洗构件(46)旋转;升降机构(60),具有随着具备控制机器(62)的致动器(56)的驱动而升降的升降部(58),并在基板清洗时,以辊清洗构件(46)对基板W施加辊载荷的方式,使连结于升降部(58)的辊支架(42)升降;测力传感器(54),设置于升降机构(60)的升降部(58)与辊支架(42)之间,并测定辊载荷;及控制部(66),根据测力传感器(54)的测定值,经由致动器(56)的控制机器(62)而反馈控制辊载荷。
公开/授权文献
- CN104584197A 基板清洗装置及基板处理装置 公开/授权日:2015-04-29
IPC分类: