接合部和电配线
摘要:
本发明提供一种不会产生空隙、裂纹等的高品质、高可靠度的电极接合部和电配线。将2个导体接合的接合部含有选自Si、B、Ti、Al、Ag、Bi、In、Sb、Ga的组中的至少一种、Cu和Sn,在其与导体之间形成有纳米复合结构的金属扩散区域。
公开/授权文献
0/0