本发明涉及一种高精度压力驱动装置，所述装置包括压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片陶瓷放置于方向导槽中，方向导槽上端存在一个开孔，压电陶瓷的上端可从开孔中部分伸出，方向导槽下端也存在一个开孔，用于与安装底座连接。压电陶瓷的作用在于实现超微量超快速的位移动作；弹性簧片的作用在于承受压电陶瓷的作用力，并产生相应的弹性形变。所述装置可在作用力输出端存在不断变化的微小位移的情形下，精确快速地输出恒定的作用力。由于本发明装置的直接输出为作用力，且物体形变与作用力成线性关系，因而本装置能够对被控制面进行线性控制，更准确地控制面形。(3)、微位移探测器(4)和安装底座(5)，其中压电