发明公开
- 专利标题: 压力传感器的生产方法和相应的传感器
- 专利标题(英): Method for producing a pressure sensor and corresponding sensor
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申请号: CN201380022007.7申请日: 2013-03-06
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公开(公告)号: CN104508447A公开(公告)日: 2015-04-08
- 发明人: S·布里达 , J-F·勒尼尔
- 申请人: 奥谢陶尔公司 , 国家科学研究中心
- 申请人地址: 法国布尔日
- 专利权人: 奥谢陶尔公司,国家科学研究中心
- 当前专利权人: 奥谢陶尔公司,国家科学研究中心
- 当前专利权人地址: 法国布尔日
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟; 王锦阳
- 优先权: 1252042 2012.03.06 FR
- 国际申请: PCT/EP2013/054531 2013.03.06
- 国际公布: WO2013/131973 FR 2013.09.12
- 进入国家日期: 2014-10-24
- 主分类号: G01L9/00
- IPC分类号: G01L9/00 ; G01L9/04 ; G01L9/06 ; G01L19/00 ; B81C1/00
摘要:
本发明涉及一种压力传感器的制造方法,包括以下步骤:将支撑基片与上面已沉积应变仪的可变形膜相装配,其中所述可变形膜包括在其中央的变薄区,所述支撑基片设在所述可变形膜顶部,所述支撑基片包括上表面以及与所述可变形膜相接触的下表面,并且所述支撑基片还包括设在所述应变仪顶部的侧部凹陷和设在膜的所述变薄区顶部的中央凹陷,以得到微机械结构;并且,一旦获得了装配,就在一个单一步骤中,在所述支撑部的所述上表面上和所述支撑部的所述侧部凹陷中沉积至少一种导电材料,所述导电材料延伸到凹陷中,从而与所述应变仪相接触以形成与所述应变仪相接触的电触头。
公开/授权文献
- CN104508447B 压力传感器的生产方法和相应的传感器 公开/授权日:2017-06-09