压力传感器的生产方法和相应的传感器
摘要:
本发明涉及一种压力传感器的制造方法,包括以下步骤:将支撑基片与上面已沉积应变仪的可变形膜相装配,其中所述可变形膜包括在其中央的变薄区,所述支撑基片设在所述可变形膜顶部,所述支撑基片包括上表面以及与所述可变形膜相接触的下表面,并且所述支撑基片还包括设在所述应变仪顶部的侧部凹陷和设在膜的所述变薄区顶部的中央凹陷,以得到微机械结构;并且,一旦获得了装配,就在一个单一步骤中,在所述支撑部的所述上表面上和所述支撑部的所述侧部凹陷中沉积至少一种导电材料,所述导电材料延伸到凹陷中,从而与所述应变仪相接触以形成与所述应变仪相接触的电触头。
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