• 专利标题: 自动化EDS标准校准
  • 申请号: CN201380040282.1
    申请日: 2013-07-29
  • 公开(公告)号: CN104487829B
    公开(公告)日: 2018-02-06
  • 发明人: M.J.欧文
  • 申请人: FEI公司
  • 申请人地址: 美国俄勒冈州
  • 专利权人: FEI,公司
  • 当前专利权人: FEI,公司
  • 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
  • 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 王洪斌; 陈岚
  • 优先权: 13/561821 2012.07.30 US
  • 国际申请: PCT/US2013/052515 2013.07.29
  • 国际公布: WO2014/022286 EN 2014.02.06
  • 进入国家日期: 2015-01-29
  • 主分类号: G01N23/225
  • IPC分类号: G01N23/225
自动化EDS标准校准
摘要:
本发明涉及一种用于确定未知样本的组成的方法和系统。本发明包括一种对x射线光谱仪进行校准的方法,其不要求在用来测量要分析的未知样本的操作条件下测量所有可能元素。根据优选实施例,可以从单个元素标准的x射线光谱对本地仪表进行校准。该仪表将具有包含用于被分析的所有元素的高质量光谱的存储库。将单个元素的分析与用于该元素的库光谱相比较以定义用来创建已校准光谱库的变换,该已校准光谱库包括用于原始库中的每个光谱的已校准光谱。结果,可以将由本地仪表产生的光谱与已校准库光谱相比较以确定未知矿物中的元素。
公开/授权文献
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