- 专利标题: 液晶显示面板的薄膜晶体管的制备方法和液晶显示面板
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申请号: CN201410697274.0申请日: 2014-11-26
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公开(公告)号: CN104465396B公开(公告)日: 2017-05-31
- 发明人: 徐大林 , 郑载润 , 李根范 , 张福刚
- 申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内;
- 专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内;
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王静
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L21/34 ; H01L21/28 ; H01L21/44
摘要:
本发明公开了一种用于液晶显示面板的薄膜晶体管的制备方法,所述方法包括依次在液晶显示面板的基板上制备第一ITO层、栅极层、栅极绝缘层、有源层、刻蚀阻挡层、源漏极层、钝化层和第二ITO层。在栅极层的制备步骤中,形成位于第一ITO层的两个彼此间隔开的区域上的金属孤岛和基极导线、和位于所述两个间隔开的区域之间的基板上的栅极导线,同时通过连接线连接栅极导线和金属孤岛。在所述连接线的接触孔与基极导线和金属孤岛的接触孔在同一截面的情况下,通过第二ITO层连接所述金属孤岛和基极导线。另外,本发明还提供了一种使用这样的方法制备的液晶显示面板。
公开/授权文献
- CN104465396A 液晶显示面板的薄膜晶体管的制备方法和液晶显示面板 公开/授权日:2015-03-25
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