本发明公开硬表面真空清洁机及其清洁方法，该包括一外壳、一负压源及一主水箱，外壳，其具有一容置空间，且其一端具有吸嘴；负压源；其位于外壳的容置空间；主水箱，其位于外壳容置空间内且其具有一主污水存储空间,一个电机舱,一个与固体污物暂存舱相通的主水箱入水口,一个能与外界相连通的排气装置,一个泄水口；所述吸嘴与进气管相连形成的水气混合吸入通道连通，该水气混合吸入通道与由排气管抵于离心扇叶轮上实现与负压源相连形成的第一阶段水气分离通道连通，该第一阶段水气分离通道与第二阶段水气分离通道连通，从而形成水气分离进而实现硬表面真空清洁。本发明实现二阶段水气分离所需的结构简单，水气分离效果好。