发明公开
- 专利标题: 晶片运送装置
- 专利标题(英): Wafer shipper
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申请号: CN201380024494.0申请日: 2013-04-09
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公开(公告)号: CN104350591A公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 鲁斯·V·拉什克 , 巴里·格里格森 , 詹森·托德·斯蒂芬斯
- 申请人: 安格斯公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 安格斯公司
- 当前专利权人: 恩特格里斯公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汪洋
- 优先权: 61/621,777 2012.04.09 US
- 国际申请: PCT/US2013/035846 2013.04.09
- 国际公布: WO2013/155113 EN 2013.10.17
- 进入国家日期: 2014-11-10
- 主分类号: H01L21/673
- IPC分类号: H01L21/673 ; B65D85/86 ; B65D85/38
摘要:
本发明公开一种用于容纳分隔开的薄晶片堆的晶片容器,所述晶片容器包括H形杆式载架、用于接收H形杆式载架的基部、附接在被定位于H形杆式载架下方的底壁处的基部晶片支撑垫,所述基部晶片支撑垫具有限定狭槽的多个肋部,每个所述狭槽包括具有曲率和一对端部的底部晶片安置区域,每个所述端部向外展开,借此所述安置区域在端部处向外展开,盖部与基部连接以形成封闭的内部。盖部具有最高壁,晶片支撑垫被固定至该最高壁。盖部晶片支撑垫具有一行晶片接合指状部分,指状部分呈Y形构造并且具有从支撑部分延伸并且从相对的支撑部分交替地延伸的两个支柱,所述指状部分可以是具有在两个方向上向外展开的晶片垫的S形构造。
公开/授权文献
- CN104350591B 晶片运送装置 公开/授权日:2017-02-22
IPC分类: