固态摄像装置、其制造方法及电子设备
摘要:
本发明提供一种固态摄像装置、其制造方法及电子设备。该固态摄像装置包括:多个像素;分隔结构,设置为沿着相邻于该多个像素的边界线;该分隔结构包括凹槽,从半导体基板的后表面设置到与波长对应的深度,该凹槽设置为沿着该边界线,第一分隔层,设置在该凹槽中,以及第二分隔层,设置在该第一分隔层之上且与该边界线对应,该第二分隔层连接到该第一分隔层。
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