发明授权
- 专利标题: 固态摄像装置、其制造方法及电子设备
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申请号: CN201410376983.9申请日: 2014-08-01
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公开(公告)号: CN104347660B公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 蛯子芳树 , 山本敦彦 , 馆下八州志 , 冈崎裕美
- 申请人: 索尼公司
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 索尼公司
- 当前专利权人: 索尼公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 焦玉恒
- 优先权: 2013-166856 2013.08.09 JP
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H04N5/335
摘要:
本发明提供一种固态摄像装置、其制造方法及电子设备。该固态摄像装置包括:多个像素;分隔结构,设置为沿着相邻于该多个像素的边界线;该分隔结构包括凹槽,从半导体基板的后表面设置到与波长对应的深度,该凹槽设置为沿着该边界线,第一分隔层,设置在该凹槽中,以及第二分隔层,设置在该第一分隔层之上且与该边界线对应,该第二分隔层连接到该第一分隔层。
公开/授权文献
- CN104347660A 固态摄像装置、其制造方法及电子设备 公开/授权日:2015-02-11
IPC分类: