发明公开
- 专利标题： MEMS器件、接口电路及其制作方法
- 专利标题（英）： MEMS Devices, interface circuits, and methods of making thereof
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申请号： CN201410342001.4申请日： 2014-07-17
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公开(公告)号： CN104301839A公开(公告)日： 2015-01-21
- 发明人: S·巴曾 , A·韦斯鲍尔 , C·简克纳 , M·菲尔德纳
- 申请人： 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址： 德国诺伊比贝尔格
- 专利权人： 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人： 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国诺伊比贝尔格
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华; 张宁
- 优先权： 61/847,874 2013.07.18 US; 14/255,703 2014.04.17 US
- 主分类号： H04R3/00
- IPC分类号： H04R3/00 ; B81B7/00 ; B81C1/00
摘要：
根据本发明的实施例，一种微机电系统(MEMS)器件，包括：第一板；第二板，布置在所述第一板上方；和第一可移动板，布置在所述第一板和所述第二板之间。MEMS器件进一步包括：第二可移动板，布置在所述第一可移动板和所述第二板之间。
公开/授权文献
- CN104301839B MEMS器件、接口电路及其制作方法 公开/授权日：2018-01-09
