借助聚焦离子束的突出标记
Abstract:
本发明提供了一种在固态材料的经抛光小面的外表面上形成一个或一个以上突出部的方法,所述方法包含步骤:以使顶部表面材料突出的方式朝向固态材料的经抛光小面的外表面施加聚焦惰性气体离子束局部辐射;其中来自所述聚焦惰性气体离子束的所辐射聚焦惰性气体离子穿透所述固态材料的所述经抛光小面的所述外表面;以及其中所辐射聚焦惰性气体离子在一压力下造成所述固态材料在所述外表面下方的固态晶格内的膨胀应变以引起固态晶格的膨胀,且在所述固态材料的所述经抛光小面的所述外表面上形成突出部。
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