本发明涉及合金的电弧熔融的技术领域，特别是涉及一种真空电弧熔融装置及用其制备合金的熔融工艺，该真空电弧熔融装置，包括熔融室、与熔融室连接的冷却室、设置于熔融室的电弧枪组、以及用于容置材料的并能够在熔融室和冷却室之间传输的铜模具；熔融室和冷却室之间设置有用于分隔或连通熔融室和冷却室的第一自动门；电弧枪组包括至少两个并按照一定间隔排列的电弧枪，电弧枪能够单独上下移动或者同时上下移动；铜模具的底部开设有若干个用于通入冷却液体的冷却管道；铜模具在熔融室中能够左右移动。该真空电弧熔融装置具有原材料的熔融量大，制备合金时各组成元素在结晶时分布均匀的优点。该熔融工艺能使原材料的熔融量大，避免偏析现象的发生。