发明公开
- 专利标题: 具有放电灯的照明装置
- 专利标题(英): Lighting device provided with discharge lamp
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申请号: CN201380013424.5申请日: 2013-03-28
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公开(公告)号: CN104185894A公开(公告)日: 2014-12-03
- 发明人: 金井信夫 , 木村英治 , 藤森昭芳 , 三井胜
- 申请人: 株式会社ORC制作所
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社ORC制作所
- 当前专利权人: 株式会社ORC制作所
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉; 黄纶伟
- 优先权: 2012-077809 2012.03.29 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/059327 2013.03.28
- 国际公布: WO2013/147052 JA 2013.10.03
- 进入国家日期: 2014-09-10
- 主分类号: H01L21/027
- IPC分类号: H01L21/027 ; G03F7/20 ; H05B37/02
摘要:
本发明的放电灯具有:多个放电灯;照度检测部,其检测从多个放电灯照射的照明光的照度;以及照度控制部,其根据检测出的放电灯的照度,调整针对多个放电灯的输入电力,照度控制部针对多个放电灯中的、具有超过了根据基准照度值而确定的允许阈值的照度值的放电灯,以使照度朝向在允许阈值与基准照度值之间确定的鲁棒阈值而变化的方式进行电力调整。
公开/授权文献
- CN104185894B 具有放电灯的照明装置,照明方法及具有该照明装置的曝光装置 公开/授权日:2016-10-05
IPC分类: