具有判定放电开始的功能的气体激光振荡器
摘要:
本发明的具有判定放电开始的功能的气体激光振荡器具备:放电管,其设置于激光气体所循环的气体流路;输出指令部,其输出电源输出指令;电源部,其对放电管施加与电源输出指令值相应的放电管电压;电压检测部,其检测放电管电压;以及放电开始判定部,其基于放电管电压的变化比率来判定放电管中是否开始了放电。输出指令部以阶梯时宽和电源输出指令值的增幅使电源输出指令值呈阶梯状上升,该阶梯时宽是以到电源部对电源输出指令作出响应为止所需的时间为基准而决定的,该电源输出指令值的增幅是将与作为预先决定的基准的放电开始电压对应的电源输出指令值除以2以上的阶梯数而得到的。
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