发明公开
CN104059602A 一种半导体环保研磨剂
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种半导体环保研磨剂
- 专利标题(英): Environment-friendly polishing compound for semiconductor
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申请号: CN201410291891.0申请日: 2014-06-26
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公开(公告)号: CN104059602A公开(公告)日: 2014-09-24
- 发明人: 范向奎
- 申请人: 青岛宝泰新能源科技有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市李沧区郑佛路17号-8室
- 专利权人: 青岛宝泰新能源科技有限公司
- 当前专利权人: 青岛宝泰新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市李沧区郑佛路17号-8室
- 主分类号: C09K3/14
- IPC分类号: C09K3/14
摘要:
本发明公开了一种半导体环保研磨剂,其特征在于,包括下列重量份数的物质:磷酸二氢钙11-14份,磷酸2-5份,磷酸二氢钾9-13份,二氧化硅1-3份,硫氰酸盐21-23份,水杨酸盐4-17份,EDTA8-13份,除油剂3-8份,硫酸钾8-10份,无水硫酸钠10-16份,聚丙烯酯5-9份。本发明的有益效果是:腐蚀速度低,研磨效果好,对半导体损伤小。