一种半导体环保研磨剂
摘要:
本发明公开了一种半导体环保研磨剂,其特征在于,包括下列重量份数的物质:磷酸二氢钙11-14份,磷酸2-5份,磷酸二氢钾9-13份,二氧化硅1-3份,硫氰酸盐21-23份,水杨酸盐4-17份,EDTA8-13份,除油剂3-8份,硫酸钾8-10份,无水硫酸钠10-16份,聚丙烯酯5-9份。本发明的有益效果是:腐蚀速度低,研磨效果好,对半导体损伤小。
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