发明授权
- 专利标题： 复合基板
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申请号： CN201380003306.6申请日： 2013-11-11
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公开(公告)号： CN103947110B公开(公告)日： 2016-08-17
- 发明人: 多井知义 , 岩崎康范 , 堀裕二 , 山寺乔纮 , 服部良祐 , 铃木健吾
- 申请人： 日本碍子株式会社 , NGK陶瓷设备株式会社
- 申请人地址： 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号
- 专利权人： 日本碍子株式会社,NGK陶瓷设备株式会社
- 当前专利权人： 日本碍子株式会社,NGK陶瓷设备株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号
- 代理机构： 上海市华诚律师事务所
- 代理商 李晓
- 优先权： 2012-250071 2012.11.14 JP
- 国际申请： PCT/JP2013/080399 2013.11.11
- 国际公布： WO2014/077213 JA 2014.05.22
- 进入国家日期： 2014-03-31
- 主分类号： H03H9/25
- IPC分类号： H03H9/25 ; H03H9/145
摘要：
本发明的复合基板，是压电基板与支承基板介由非晶层接合而成的复合基板，所述压电基板为钽酸锂或铌酸锂的单晶基板，所述支承基板为硅的单晶基板。非晶层含有3atm%～14atm%的Ar。此外，非晶层从压电基板向着复合基板，具有第1层、第2层及第3层。其中，第1层比第2层及第3层含有更多的构成压电基板的元素（Ta等），第3层比第1层及第2层含有更多的构成支承基板的元素（Si），第2层比第1层及第3层含有更多的Ar。
公开/授权文献
- CN103947110A 复合基板 公开/授权日：2014-07-23
